常见的故障有：位控环报警：可能是测量回路开路；测量系统损坏，位控单元内部损坏。不发指令就运动，可能是漂移过高，正反馈，位控单元故障；测量元件损坏。测量元件故障，一般表现为无反馈值；机床回不了基准点；高速时漏脉冲产生报警可能的原因是光栅或读头脏了；光栅坏了。
伺服驱动系统伺服驱动系统与电源电网，机械系统等相关联，而且在工作中一直处于频繁的启动和运行状态，因而这也是故障较多的部分。其主要故障有：系统损坏。一般由于网络电压波动太大，或电压冲击造成。
我国大部分地区电网质量不好，会给机床带来电压超限，尤其是瞬间超限，如无专门的电压监控仪，则很难测到，在查找故障原因时，要加以注意，还有一些是由于特殊原因造成的损坏。
